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'关键字: 曝光'
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解析投影式光刻机
曝光
分类
备,每颗芯片诞生之初,都要经过光刻技术的锻造。 光刻机,又名掩模对准
曝光
机,光刻系统等。其有”接触式
曝光
“、”接近式
曝光
“、”投影式
曝光
“三种曝...
2016-08-17 16:46:37
使用光刻机
曝光
的三种方式
接触式
曝光
接触式
曝光
是将掩膜与待加工基片的光胶层直接接触进行的
曝光
。掩膜和基片通过机械装置压紧或通过真空吸住等方法实现两者紧密接触。 优...
2014-08-01 09:22:31
光刻胶及光刻工艺流程
ist简称PR)又称光致抗蚀剂,它是一种对光敏感的有机化合物,它受紫外光
曝光
后,在显影液的溶解度会发生变化。①光刻胶作用:将掩膜板上的图形转移到晶圆...
2017-08-23 10:25:14
光刻胶使用过程中的注意事项
障等特殊情况下,涂完光刻胶的产品需要保留,保留的时间一般不超过8 小时,
曝光
前如已被感(即胶膜已失效),不能作为正品,需返工处理。 5、 前烘温度...
2016-10-26 08:55:21
光刻胶及光刻工艺流程
光刻胶又称为光致抗饰剂,它是一种对光敏感的有机化合物,受紫外光
曝光
后,在显影液中的溶解度会发生变化。主要作用是将掩膜板上的图形转移到晶圆表...
2016-08-23 16:51:39
微流控芯片的制作与修饰
用激光直接在聚合物或玻璃上加热形成微结构所需仪器设备光刻机:光刻机/紫外
曝光
机(Mask Aligner) 又名:掩模对准
曝光
机,
曝光
系统,光刻系统...
2016-06-14 14:42:59
单层模具加工工艺
在)。按照预定图形高度,设定匀胶机转速。匀胶后静置1~2min。四、硅片
曝光
根据光刻胶性能确定前烘时间,进行前烘处理;根据
曝光
机功率及光刻胶所需
曝光
...
2016-04-25 16:50:48
URE-2000S/25 型单、双面
1.技术参数
曝光
面积:100 mm×100mm(可升级为150 mm×150mm) 分辨力:1.2mm(胶厚2mm的正胶) 对准精度:±3mm(双面,片...
2016-04-15 10:18:41
URE-2000A型光刻机
URE-2000A型光刻机 ◆
曝光
面积:150mm×150mm ◆ 分辨力:0.8-1μm(胶厚2μm的正胶) ◆ 对准精度:0.6μm ◆ 掩模样片整体运动范围:X...
2016-04-15 09:09:37
URE-2000S/A型单、双面光刻机(厚胶型)
URE-2000S/A 型单、双面 ◆
曝光
面积: 1 5 0 mm× 1 5 0 m m ◆ 分辨力: 1 μm( 胶厚2 m 的正胶) ◆ 对准精度: 3 μm( 双面, 片厚...
2016-04-15 09:08:31
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