URE-2000S/A 型单、双面
◆ 曝光面积： 1 5 0 mm× 1 5 0 m m
◆ 分辨力： 1 μm（ 胶厚2 m 的正胶）
◆ 对准精度： 3 μm（ 双面, 片厚0 . 8 m m ） ， 0 . 8 μm（ 单面）
◆ 掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸， 7 英寸
◆ 样片尺寸： 直径3 0 m m - - 1 5 0 m m
厚度0 . 1 m m - - 8 m m
◆ 照明均匀性： 3 . 5 % （ 1 0 0 m m 范围） 5 . 5 % （ 1 5 0 m m 范围）
◆ 掩模相对于样片运动行程： X : 5 m m ; Y : 5 m m ; : 6 度
◆ 汞灯功率： 1 0 0 0 W （ 直流）
◆ 最大胶厚： 4 0 0 m （ S U 8 胶， 用户提供匀胶显影条件）
◆ 曝光方式： 定时（ 倒计时方式）
◆ 外形尺寸： 1 4 0 0 m m （ 长） 1 2 0 0 m m ( 宽) 1 8 5 0 m m （高）
（1）曝光头
◆冷光椭球镜
◆1000 W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
◆XYZ汞灯调节台
◆光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜
1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（100个透镜）、i线滤
光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2
◆冷却风扇
（2）对准工件台
◆掩模样片相对运动台
◆转动台
◆样片调平机构,自动完成
◆样片调焦机构
◆承片台4个 （2英寸、3英寸、4英寸，6英寸）
◆掩模夹4个 （3英寸、4英寸、5英寸，7英寸）
◆掩模抽拉式上下机构
（3）对准显微镜（可以选择带CCD型，目镜和监视
器可同时观测）
◆灯源（配备品2只）、 电源
◆双目双视场对准显微镜主体
◆目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）
◆物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）
◆CCD光学系统（选配件）
◆XYZ底面对准工件台
（4）底面CCD对准系统
◆光源（配备品2只）、 电源
◆成像光学系统( 2套,20倍放大)
◆数据采集卡
◆CCD
（5）电控系统
◆汞灯触发电源( 1 0 0 0 W直流汞灯)
◆单片机控制系统
◆控制柜桌
◆计算机系统（19英寸宽屏液晶显示器）
（6）气动系统
◆气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
◆电磁阀驱动
◆气动仪表
（7）其他附件（选配）
◆真空泵一台
◆空压机一台）
◆恒温循环水冷却系统
◆管道
（8）技术资料
◆使用维修说明书