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  • 微流控芯片发展现状、材料和制作璃、石英、硅片上刻蚀出微通道，之后还发展了电感耦合等离子体刻蚀技术，LIGA技术等。但是以玻璃、石英、硅片为基质来制作微流控芯片技术工艺复杂、冗长、...2015-03-02 11:00:24
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