准LIGA技术是用紫外光光源来代替LIGA技术中的同步辐射X光深层光刻，然后进行后续的微电铸和微复制工艺。它不需要像LIGA技术所需的同步辐射X光光刻和特制的X光掩模板，从而实现微机械器件的大批量生产。
| 特点 | LIGA技术 | 准LIGA技术 |
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| 光源 | 同步辐射X光 | 普通紫外光（波长为350-450 nm） | |
| 掩模板 | 以金为吸收体的X射线掩模板 | 标准铬掩模板 | |
| 光胶 | 常用聚甲基丙烯酸甲酯 | 常用SU-8负光胶 | |
| 深宽比 | 一般≤100，最高可达500 | 一般≤10，最高可达30 | |
| 胶膜厚度 | 几十微米到1000μm | 几微米到几十微米，最高可达680 μm | |
| 生产周期 | 较长 | 较短 | |
| 生产成本 | 较高 | 较低，约为LIGA技术的1/100 | |
| 侧壁垂直度 | 大于89.9° | 大于88° | |
| 最小尺寸 | 亚微米 | 微米 | |
| 加工温度 | 常温至50℃左右 | 常温至50℃左右 | |
| 加工材料 | 塑料、金属、陶瓷等 | 塑料、金属、陶瓷等 |