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'关键字: 光刻工艺'
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光刻胶及
光刻工艺
流程
MEMS)、太阳能光伏、微流道和生物芯片、光电子器件/光子器件、封装⑥
光刻工艺
流程⑦光刻质量要求光刻的质量直接影响到器件的性能,成品率和可靠性。1....
2017-08-23 10:25:14
光刻胶及
光刻工艺
流程
系统、太阳能光伏、微流道和生物芯片、光电子器件以及封装。
光刻工艺
流程:前处理——》涂胶——》软烘烤——》对准曝光——》PEB——》显影...
2016-08-23 16:51:39
SU-8光刻胶产品性能及
光刻工艺
介绍
基底相比,金属衬底上的SU-8工艺更有利于微细电铸工艺。胶膜结构质量受
光刻工艺
,如基底前处理、匀胶、前后烘、曝光、显影等环节影响,其中显影操作是光刻...
2014-09-30 10:16:50
微结构制备
工艺 PDMS芯片微结构尺寸取决于其注塑模具,普通紫外
光刻工艺
加工的尺寸最细可到2um,由于PDMS芯片材质的透气性、透光性和生物相...
2024-12-19 04:49:38
汶颢股份参展南京2019年ESEE会议
专注微流控配套芯片与仪器的开发,在展会呈现了一系列的新款产品。例如,为
光刻工艺
制作微流控芯片设计的显影机,解放操作人员的双手,让光刻显影变得简单易行...
2019-04-18 09:34:40
基于微流控液滴形成技术的聚乙烯醇微球制备
bricatedmicrofluidicchip的通道宽度相同。采用软
光刻工艺
制备SU-8阳模。将适量PDMS前聚体与固化剂按10∶1的比例搅拌混合...
2018-11-07 10:06:20
光刻技术首次绘出银纳米结构 为光学计算机研发开辟新途径
以作为纯光学数据处理的基础材料,但要实际应用还需要进一步细化银纳米结构
光刻工艺
。...
2017-08-09 14:34:17
微流控芯片的制作与修饰
膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.一般的
光刻工艺
要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、...
2016-06-14 14:42:59
SU 8光刻胶系列
比高的微结构与微零件是微加工领域的一项新技术。 SU-8光刻胶的
光刻工艺
将SU-8光刻胶组分旋涂在基材上,施涂厚度...
2016-04-14 11:30:20
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