Spin coater

Designed for Thin and Thick Film Spin Coating

• MEMS (Bio-MEMS, Optical-MEMS)
• TSP(Touch Screen Panel)
• FPD(Flat Panel Display)
• RF Microwave, LED, Opto-electronics

Item

Programmable Type

Display

RPM Accuracy

Max RPM

Material

Substrate Size

Vacuum Pump

Sample Chuck

Coating Performance

Drain

Specifications

10 Recipes with 10 Steps

Digital RPM Display

± 1 %

7,000 with Silicon Wafer

SUS 304 Body and Bowl for Easy Cleaning

Pieces ~ 8”

Standard Dry Vacuum Pump: 100 Liter/min

Standard Sample Chuck (Al)

≤ ± 3%

Drain Port