此微泵由储液管、蓄水池、吸水膜和蒸发孔组成。它以吸水膜所有的毛细作用和蒸发动力相结合作为驱动力。对比其他类型微泵在同一工作日的一般温湿度波动范围内,在较长时间内此微泵可提供稳定的μL/min级液体流速。微泵的流速则通过改变蒸发孔的面积或使用风扇可调节。微泵的流速精度一般优于3% 。
此微泵简单、造价低、体积小、流速稳定且可以长时间连续使用,以及流速便于调节,运行时间不受限制,任意长(环境的相对湿度<100%)的优点。