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'关键字: 刻蚀法'
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微反应器的发展现状
通道的材料一般有不锈钢,FeCrAJ,陶瓷和硅晶片。 图2是使用深度离子
刻蚀法
在硅晶片上制备微通道的过程示意图。硅晶片被选做载体是因为它易确定处理技术...
2018-08-20 15:02:10
热诱导金属 聚合物膜系图案化控制的研究
部紫外照射和激光诱导等一系列技术, 从而得到可控的表面图案。 本文用激光
刻蚀法
对溅射在聚合物膜上的金属薄膜进行处理,在热诱导情况下使金属聚合物膜系表面...
2018-07-20 10:25:10
微流控芯片的制作与修饰
合物材料。大批量生产时成本低。3.模版热压法 适合热塑性聚合物。4.激光
刻蚀法
用激光直接在聚合物或玻璃上加热形成微结构所需仪器设备光刻机:光刻机/紫外...
2016-06-14 14:42:59
微流控芯片发展现状、材料和制作
的制作 微流控芯片的加工制作方法主要有:离子或反应离子深
刻蚀法
、模塑法、光刻化学腐烛方法、注塑、印模或激光烧烛、软刻烛技术、热压法等。...
2015-03-02 11:00:24
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