由于微流控芯片基本组成单元的微米尺寸结构,它的制备对环境要求控制非常严格,而一般包括的环境指标是:空气温度、空气湿度、空气质量及制备时介质颗粒的密度。芯片制作较高的环境要求一般需要在洁净室内才能达到。一般洁净室设计由更衣室、风淋室、缓冲间和超净室组成。
(半径>0.5μm微粒) 10
(半径>5.0μm微粒) 0
(半径>0.5μm微粒) 10000
(半径>0.5μm微粒) 100000
(半径>5.0μm微粒) 70
1英尺=0.3048m