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压电微阀泵的特点

压电微阀泵

       通过MEMS方法在硅片上刻蚀出阀的位置，然后安装压电晶片，最大流速能达到100nL/min

       缺陷：

       加工方法复杂

       阀泵死体积大

Sensor Actuators A，1990,21:203-206

点击次数：  更新时间：2015-01-12 14:11:30  【打印此页】  【关闭】
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