三氧化二铝陶瓷: ——占陶瓷基片材料的90%; ——热导率不足以满足大功率集成电路应用。
氮化铝陶瓷: ——高热导率(为三氧化二铝5倍以上),适用于高功率; ——制备工艺复杂,成本高。
氧化铍陶瓷: ——高导热、理想高频特性(适合上天电子设备); ——工艺毒性,成本高。