软光刻的几种方法

微接触印刷法：

微接触印刷法是将弹性印章结合自组装单分子层技术在平面或曲面基片上印刷图形的技术。

微接触印刷法

毛细管微模塑法：

将PDMS印模放置于基底上并与之紧密接触，形成一个中空的通道网络，将低粘度的液态预聚合物置于网络通道的一端，由于毛细作用，预聚物会自发地逐渐充满整个毛细管网络，干燥后取下PDMS就得到了所需的聚合物微结构。

毛细管微模塑法

微转移模塑法：

微转移模塑法，是将液体预聚物(例如PU，聚氨酯)滴于PDMS印章上，再用一个平的PDMS块刮去多余的聚合物或者用氮气吹去，然后将充满聚合物的PDMS印模紧密地压在基底上，干燥后取下就得到所需的聚合物徽结构。

微转移模塑法在较短的时间内(约10min)在较大的面积(约3cm2)上形成微结构。

微复制模塑法：

使用弹性印章(例如PDMS)作为原始印模，将预聚物浇注在印章上，烘焙，待交联固化后剥离就可以得到所需的微结构。此外实验表明微复制模塑法可在几十纳米的精度上复制印模上的图形，而且不会对原始印模产生损坏。

溶剂辅助模塑法：

溶剂辅助模塑法的关键是选择一种能溶解聚合物基底却不会使PDMS印章膨胀的溶剂(如丙酮作为溶剂，聚苯乙烯作为聚合物基底)。

溶剂辅助模塑法就是先用适当的溶剂沾湿PDMS模，将印模紧密地压于基底上、溶剂会溶解一层聚合物，这些聚合物与溶剂填充于印模地空隙中，形成与印模图形互补的微结构、待溶剂挥发后，取下PDMS印模，则在基底上留下所需微结构。

via：孙珊

点击次数：更新时间：2014-09-09 10:06:26 【打印此页】【关闭】