微泵部分由多个气动阀构成。在常规状态下，阀门是敞开的。当施加动力时，薄膜在压力作用下发生形变，堵塞流体通道，阀闭合；撤销压力时，薄膜在自身弹力的作用下回复原状，流体通道畅通，阀开启。
Henares TG, Mizutani F, Hisamoto H (2008) Anal Chim Acta 611:17–30
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