打开天平称胶。A胶:B胶=10:1。A胶与B胶的比越大配出来的胶越软。
打开真空脱泡搅拌机,放入称好的胶,抽真空将胶搅拌混合。
将处理好的硅片放入挥发缸中,滴1~2滴修饰剂(甲基氯硅烷)修饰约3min。
锡纸铺平于皿内,放入硅片模具,将硅片轻轻压实后倒胶,务必使硅片上的胶无气泡。
85℃恒温干燥箱内干燥约30min。
用切割刀沿着芯片外框小心切割,注意切割整齐。
用打孔器打孔,注意打孔的位置、孔径大小。
清洗芯片。
用显微镜观察芯片通道是否合格。
等离子处理机处理需要键合的芯片表面,并将被处理的两面贴合。
显微镜下检察芯片的键合情况。
放入65℃恒温干燥箱内过夜烘烤。
对芯片进行最后检察,结束制作。整理加工台面。
注:所需仪器:电热板、匀胶机、烘胶台;耗材:光刻胶、显影液、硅片等。注:上文中提及的相关仪器:真空脱泡搅拌机、恒温干燥箱、显微镜、等离子处理机;所需耗材:PDMS预聚物(RTV615或184)、硅片;加工工具:切割刀、打孔器等均可在我公司购买