URE-2000/35型光刻机
◆ 曝光面积： 1 0 0 m m × 1 0 0 m m （ 可升级1 5 0 m m × 1 5 0 m m ）
◆ 分辨力： 1 μm （ 胶厚2 μm 的正胶）
◆ 对准精度： 1 μm
◆ 掩模样片整体运动范围： X ： 6 m m ; Y : 6 m m
◆ 掩模尺寸： 2 . 5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
◆ 样片尺寸：直径1 5 m m - - 1 0 0 m m ( 可适应非标准片或碎片)
厚度0 . 1 m m - - 6 m m
◆ 照明均匀性： 4 % （ 1 0 0 m m × 1 0 0 m m 范围）
◆ 掩模相对于样片运动行程： X : 5 m m ; Y : 5 m m ; : 6 º
◆ 汞灯功率： 3 5 0 W （ 直流）
◆ 曝光波长： 3 6 5 n m
◆ 曝光能量密度： > 1 5 m W / c m
◆ 曝光方式： 定时（ 倒计时方式0 . 1 s — 9 9 9 . 9 s ）
◆ 外形尺寸： 1 2 0 0 m m （ 长） 9 0 0 m m ( 宽) 1 6 0 0 m m （ 高）
技术配置
曝光头
冷光椭球镜
350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
XYZ汞灯调节台
光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（79个透镜，积木错位排列，专利技术）、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜2