产品简介：硅微通道芯片，是半导体材质芯片，和传统的IC工艺能很好的兼容，有利于多功能芯片的集成，尤其是硅基芯片可以很好的引入电学控制单元。目前，我公司是通过湿法腐蚀（酸/碱）得到的特异性芯片截面结构，其中酸法腐蚀得到的芯片结构为U型，碱法腐蚀得到的芯片结构为V型。
同时，我们为客户提供不同的芯片订制服务，以满足不同的客户要求。
优点：
1. 通道表面结构良好
2. 易于集成
3. 半导体硅基材质
加工规格：
1. 酸/碱法腐蚀硅片宽深比接近2:1
2. 通道表面粗糙度约为Ra=2um
