产品名称:
中科院微电子所KW-5型匀胶机
产品介绍:
KW型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。
产品特点:
稳定的转速和快速的启动,能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。匀胶机配真空泵使用。
1、高频调速,稳定性能更好,转速调节以数字显示为准。
2、转速在1000~5000转/分范围内非常稳定。
3、采用双转速。在启动之后,先以低速运转,使胶摊开,然后自动变到高速运转。两种转速及相应的时间分别可调,时间分别控制在1~18秒和3秒~1分钟。
4、具有定时功能。
5、测速采用光电的办法,产生光电脉冲,由晶体分频测速精度高。
6、"吸片"采用电磁阀控制气路,一个气泵可同时带几个匀胶机工作,适合流水线的工艺,提高了效率。
7、在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音很低,保证涂覆表面均匀,通过调节转速调节涂覆厚度。
8、电源电压:220V/50Hz
规格参数:
1、调速范围和匀胶时间
Ⅰ档 调速范围:500-1000转/分 Ⅰ档 匀胶时间:2-18秒
Ⅱ档 调速范围:1000-5000转/分 Ⅱ档 匀胶时间:3-60秒
2、适用:Φ100-Φ200mm(4”~8”)硅片及其它材料等匀胶。
3、LED数字显示,转速稳定度:±1%,胶的均匀性:±5%。
4、电机功率:140W
5、真空泵抽气速率1升/分
6、设备尺寸:500×500×460mm;变频调速 最高转速 5000转/分
7、适用于: 4英寸-8英寸 样片匀胶